無塵室等級標準
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。
現(xiàn)今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格（美國航空署5340.2規(guī)格）。
其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如：空氣中含有10個0.5以下時，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。
在JIS標準下，無塵室清潔度，共分為8個等級
一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2•••8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1；百個以下是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，一次類推。
21世界，最尖端產業(yè)的發(fā)展，加速了產業(yè)結構的變革，無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導致品質低下。伴隨商品的高品質要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。
美國聯(lián)邦標準（< USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3
潔凈度級別 粒 徑 (um)
0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
1 35 7.5 3 1 NA
10 350 75 30 10 NA
100 NA 750 300 100 NA
1000 NA NA NA 1000 7
10000 NA NA NA 10000 70
100000 NA NA NA 100000 700
中國藥品生產無塵車間（區(qū)）的空氣潔凈度標準
潔凈度級別 塵埃最允許數(shù) /平方米 微生物最大允許數(shù)
≥0.5um 5um 浮游菌個/立方米 沉降菌個/皿.30min
100 3500 0 5 1
10000 350000 2000 100 3
100000 3500000 20000 500 10
300000 10500000 61800 NA 15
無塵車間及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001
空氣潔凈度 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值 (pc/m3)
等級 (N) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1000 237 102 35 8
4 10000 2370 1020 352 83
5 100000 23700 10200 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7 352000 83200 2930
8 3520000 832000 29300
9 35200000 8320000 293000
所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
吸塵器 無塵室吸塵器 氣動吸塵器 工業(yè)吸塵器
